阿斯麥：從未向中國出口極紫外光刻機或零件

（德國之聲中文網）阿斯麥公司在發給路透社的聲明中表示，該公司「從未向中國發運過EUV設備，也未曾向中國發運過任何專門設計用於EUV設備的組件、模塊或設備。」

此前彭博社報導稱，美國商務部長盧特尼克在一系列會議上向阿斯麥高層表達了擔憂，稱該公司一款先進的極紫外光刻機可能已經流入中國，這違反了美國主導的出口限制。

報導引述美國官員稱，他們掌握有證據，證明阿斯麥曾向中國出口用於運輸EUV的專用設備，以及其他可用於EUV的組件，但這些出口證據過於敏感，無法披露。

阿斯麥最先進的EUV光刻系統重達180噸，體積相當於一輛中型客車。

阿斯麥表示，已駁回有關其違反針對中國的出口管制規定的指控，並補充稱，公司「始終根據出口管制的任何變化調整業務，以符合各項新規」。

荷蘭外交部在一份電子郵件聲明中表示：「在半導體制造設備的出口方面，荷蘭依據歐盟《兩用物項條例》及本國額外採取的措施，遵循明確的規則和管制清單進行管理。」

EUV「無法拆卸、運輸和重新安置」

今年4月，美國國會提出一項法案，要求荷蘭和日本等盟友遵守美國出口管制措施，防止中國獲取先進晶片製造設備。這項法案在EUV對華全面禁售的基礎上，將浸沒式深紫外光刻機（DUV）等設備也納入全面限制。

阿斯麥今年1月預計，公司今年在中國市場的銷售額佔比為20%，較去年的33%明顯減少。按中國海關總署的數據統計，中國今年首季從荷蘭進口的光刻設備同比下降24.3%。

知情者對彭博社透露，在4月與盧特尼克會面後，阿斯麥公司起草了一份題為「無跡象表明中國境記憶體在任何阿斯麥EUV」的文件。

文件稱，目前全球共有314台EUV光刻機在運行，26台已退役，而中國境內沒有任何一台；阿斯麥能夠自動檢測其EUV產品組合中的「任何中斷、異常行為或連接中斷」，並且由於「特殊操作規程」，客戶「未經阿斯麥參與，無法拆卸、運輸和重新安置EUV」。

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路透社去年12月報導稱，中國科學家已開發出一款極紫外光刻設備原型機，該設備由一支由阿斯麥前工程師組成的團隊打造；這一項目被形容為中國版的「曼哈頓計畫」。

 

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